잉크젯 프린팅된 Cu 박막의 응력해소를 통한 전기적 특성 개선

• 영문명: The Improvement of Electrical Characteristics of Inkjet-printed Cu films with Stress Relaxation during Thermal Treatment
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 저자명: 이설민 주영창
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제21권 제4호, 57~62쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2014.12.31

국문 초록

미래형 유연소자 개발 시 비용감소 및 공정적합성 개선을 위해 동박을 잉크젯 프린팅법을 이용해 공중합체 유연기판 상 형성하고, 전기적 특성에 열처리 분위기가 미치는 영향을 확인하기 위해 3 종류의 환원분위기에서 열처리를 진행하여 보았다. 그 결과 200도의 낮은 온도에서 환원 특성이 뛰어난 포름산 분위기에서 전도체 수준의 비저항은 얻을 수 있었으나, 열처리 시 발생하는 응력으로 인해 발생된 표면균열에 기인해 그 값이 기존 동박에 비해 매우 높았다. 이에 비정질재료에서 응용되는 응력해소법을 응용하여 표면균열을 억제한 결과 230도 열처리 시 기존 열처리 방법에서는 7.4μΩcm의 비저항을 보이나, 응력해소를 통한 표면 균열이 억제된 시편에서는 3.4μΩcm의 비저항 값을 얻을 수 있었다. 특히 등온열처리에 의한 응력해소 효과를 확인하기 위해 동일 온도에서 등온시간 없이 열처리를 진행한 결과, 표면균열이 억제되지 못함을 확인할 수 있었다.

영문 초록

Using flexible bismaleimide-triazine co-polymer as a substrate, inkjet-printed Cu films were also investigated for low-cost and process feasibility of flexible electronics. After annealing at 200℃ for 1 h under various reducing ambient, surface color was changed to red and electrical resistivity was decreased to the level of conductor under formic acid ambient. However, its resistivity was much higher than conventional copper films due to surface crack. In order to reduce the residual film stress after annealing, additional isothermal treatment was inserted before anneal hiring the stress relaxation applied in processes of amorphous materials. As a result, no surface crack was observed and electrical resistivity of 3.4μΩcm was measured after annealing at 230℃ with stress relaxation while electrical resistivity of 7.4μΩcm was observed after normal annealing without relaxation. The effect of stress relaxation was also confirmed by observing surface crack after decreasing the relaxation time to 0 min.

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

References

키워드

inkjet printing Cu electrical property stress relaxation