PLD 기법으로 성장된 n형 TiO₂에서 Nb 도너의 활성화 에너지

• 영문명: The activation Energy of the Niobium donor in n-type TiO₂ film grown by Pulsed Laser Deposition
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 저자명: 배효정 하준석 박승환
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제21권 제4호, 41~44쪽, 전체 4쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2014.12.31

국문 초록

본 연구에서는 TiO₂에 나이오븀 (Nb) 도펀트가 주입되었을 때의 활성화 에너지를 홀 효과 측정 시스템과 온도에 따른 photoluminescence (PL) 실험을 통하여 살펴보았다. Nb 이 도핑 된 n형 아나타제 TiO₂ 박막은 pulsed laser deposition (PLD) 기법으로 SrTiO₃기판에 성장되었다. 측정 결과, Nb 도너의 활성화 에너지 값은 홀 효과 측정에서는 14.52 meV, PL 측정에서는 6.72 meV로 다소 차이를 보였다. 이 결과는 기존의 어셉터 물질의 활성화 에너지들과는 차이를 나타내고 있으며, 향후 본 연구와 같은 shallow 도너 준위의 활성화 에너지 연구에 대한 더 많은 연구가 필요할 것으로 판단된다.

영문 초록

In this paper, we will investigate the activation energies of Nb for TiO₂ using Hall effect measurement and photoluminescence (PL) system. Nb-doped TiO₂ thin film was grown on SrTiO₃ substrate by pulsed laser deposition (PLD) technique. After measurements, activation energies of niobium donor were 14.52 meV in Hall effect measurement, and 6.72 meV in PL measurement, respectively. These results showed different tendencies which are measured from the samples with acceptor materials. Therefore, it is thought that more research on activation energies for dopants of shallow donor level is expected.

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. Conclusions

References

키워드

Activation energy Anatase TiO₂ Nb doping Pulsed laser deposition Photoluminesence Hall effect measurement