- 영문명
- Introduction of TSV (Through Silicon Via) Technology
- 발행기관
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 저자명
- 윤민승
- 간행물 정보
- 『마이크로전자 및 패키징학회지』제16권 제1호, 1~6쪽, 전체 6쪽
- 주제분류
- 공학 > 산업공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2009.03.31

국문 초록
영문 초록
목차
1. 서론
2. TSV 주요 기술
3. 반도체 업체 및 연구소의 TSV 개발 동향
4. 맺음말
참고문헌
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