Surface treatment of silver-paste electrode by atmospheric-pressure plasma-jet

• 영문명: 대기압 플라즈마 제트를 이용한 실버페이스트 전극의 표면처리
• 발행기관: 한국응용과학기술학회 (구.한국유화학회)
• 저자명: Sheik Abdur Rahman Shenawar Ali Khan Yunsook Yang Woo Young Kim
• 간행물 정보: 『한국응용과학기술학회지』제40권 제1호, 71~80쪽, 전체 10쪽
• 주제분류: 공학 > 화학공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2023.02.28

국문 초록

실버 페이스트는 상대적으로 낮은 열처리로 공정이 가능하기 때문에 전자 소자 응용분야에서유용한 전극 재료이다. 본 연구에서는 은 페이스트 전극에 대기압 플라즈마 제트를 이용하여 전극 표면을처리 했다. 이 플라즈마 제트는 11.5 kHz 작동 주파수에서 5.5 ~ 6.5 kV의 고전압을 사용하여 아르곤 분위기에서 생성되었다. 플라즈마 제트는 대기압에서 수행함으로써 인쇄 공정에 더 유용할 수 있다. 플라즈마 처리시간, 인가된 전압, 가스유량에 따라 전극의 표면은 빠르게 친수성화 되었으며 접촉각의 변화가 관찰되었다. 또한, 대면적 샘플에서 플라즈마 처리 후 접촉각의 편차가 없었는데, 이는 기판의 크기에 관계없이 균일한 결과를 얻을 수 있었다는 것을 의미한다. 본 연구의 결과는 대면적 전자소자의 제조 및 향후 응용 분야에서 적층 구조를 형성하는데 매우 유용할 것으로 기대된다.

영문 초록

Silver paste is a valuable electrode material for electronic device applications because it is easy to handle with relatively low heat treatment. This study treated the electrode surface using an atmospheric-pressure plasma jet on the silver-paste electrode. This plasma jet was generated in an argon atmosphere using a high voltage of 5.5 to 6.5 kV with an operating frequency of 11.5 kHz. Plasma-jet may be more beneficial to the printing process by performing it at atmospheric pressure. The electrode surface becomes hydrophilic quickly and contact angle variation is observed on the electrode surface as a function of plasma treatment time, applied voltage, and gas flow rate. Also, there was no deviation in the contact angle after the plasma treatment in the large-area sample, that means a uniform result could be obtained regardless of the substrate size. The outcomes of this study are expected to be very useful in forming a stacked structure in the manufacture of large-area electronic devices and future applications.

목차

1. Introduction

2. Materials and Method

3. Result and discussion

4. Conclusions

Acknowledgement

References

키워드

대기압 플라즈마 제트 은(Ag) 페이스트 전극 표면 처리 접촉각 표면 에너지 Atmospheric pressure Plasma jet Silver(Ag) paste electrode Surface treatment Contact angle Surface energy