반도체와 금속의 온도에 따른 펨토초 레이저 가공 연구

• 영문명: Study of the temperature-dependence femtosecond laser processing of semiconductor and metal
• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 양지상 남정림 정세채
• 간행물 정보: 『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2007년도 추계학술발표대회 논문집, 92~95쪽, 전체 4쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2007.11.30

국문 초록

  반도체인 실리콘과 금속인 스틸의 펨토초 레이저 가공에 있어서 기판 온도에 대한 의존성을 연구하였다. 펄스당 어블레이션 효율과 임계출력은 대상 물질의 전기적 전도성에 의존하며, 공정 물질의 전도성이 클수록 어블레이션 효율이 기판 온도에 영향을 많이 받게 된다. 이러한 실험적인 결과는 자유전자나 정공과 같은 운반자의 역할이 펨토초 레이저를 이용한 물질의 어블레이션상에서 작동하는 기작에 매우 중요함을 의미한다.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌