Interfacial Electrical/Dielectric Characterization in Low Temperature Polycrystalline Si

• 영문명: Interfacial Electrical/Dielectric Characterization in Low Temperature Polycrystalline Si
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제12권 제1호, 77~85쪽, 전체 9쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2005.03.31

목차

1. Introduction

2. Experimental

3. Results and Discussion

4. Conclusions

Acknowledgements

References

키워드

Impedance spectroscopy Electrical/dielectric properties Polycrystalline Silicon Microstructure Thin Film transistors