355nm 펄스 레이저를 이용한 구리 표면의 소수성 개질에 관한 연구

• 영문명: A Study on Fabrication of Hydrophobic Modification on the Surface of Copper using 355nm-Pulsed Laser
• 발행기관: 한국마이크로전자및패키징학회
• 저자명: 윤단희 강보석 박준한 곽청렬 신보성
• 간행물 정보: 『마이크로전자 및 패키징학회지』제23권 제4호, 101~105쪽, 전체 5쪽
• 주제분류: 공학 > 산업공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2016.12.31

국문 초록

최근 자연모방을 이용한 소수성 표면 가공이 많은 관심을 끌고 있다. 대표적인 가공 방법으로 기계적 가공, 포토리소그래피 가공, 레이저를 이용한 공정이 있다. 본 논문에서는 구리필름에 UV 펄스 레이저를 직접 조사해 마이크로 그루브를 형성하고 상온에서의 산화를 통해 표면의 거칠기를 증가시켜 소수성 표면을 제작하였다. 패턴 생성 뒤 일정 시간 산화를 시킨 후에 측정된 접촉각은 산화를 시키기 전보다 약 30~70°까지 증가함을 보인다. 본 연구 결과를 통해서 화학적인 처리과정 없이 보다 안정한 소수성 표면을 제조할 수 있음을 확인하였다.

영문 초록

Recently, the hydrophobic surface has been attracted because of the excellent opto-physical properties. Various processing methods such as chemical, mechanical, photolithographic and laser processing are competitively introduced for fabrication of hydrophobic surface of polymer, metal and ceramics. In this paper, we fabricated the hydrophobic surface of copper metal by simple method which irradiated 355 nm UV-pulsed laser in order to shape microgrooves and increased surface roughness through oxidation process at room temperature. Finally the contact angle is dramatically increased by maximum 45°, as a result of oxidation which simply created nanostructures on the microstructures without expensive chemical process.

목차

1. 서론

2. 실험

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

References

키워드

Hydrophobic Copper surface UV pulsed laser Microgroove Oxidation