학술논문
고밀도 유도결합 $C1_2CF_4Ar$ 수식 이미지 플라즈마를 이용한 $CeO_2$ 수식 이미지 박막 식각후 표면반응에 관한 연구
이용수 0
- 영문명
- An Investigation on the Surface Reactions after the Etching of $CeO_2$ 수식 이미지 Thin Films using High Denstity Inductively Coupled $C1_2CF_4Ar$ 수식 이미지Ar Plasmas
- 발행기관
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 저자명
- 간행물 정보
- 『한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집』2002년도 춘계 기술심포지움 논문집, 255~258쪽, 전체 4쪽
- 주제분류
- 공학 > 산업공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2002.05.30
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