레이저 미세가공 신 공정 및 장비 개발을 위한 플랫폼 개발

• 영문명: A platform for developing a new process and/or a new machine of laser micro-machining
• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 손현기(H. Sohn) 이제훈(J. H. Lee) 신동식(D. S. Shin) 노지환(J. H. Noh)
• 간행물 정보: 『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2008년도 춘계학술발표대회 논문집, 9~14쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2008.06.30

영문 초록

Laser micro-machining processes have increasingly been adopted to various advanced industries where high-precision and selective machining of large-area, high-density and multi-material parts is strongly required. To effectively meet the requirements, the laser micro-machining process must be carefully monitored online. In order to facilitate the development of a laser micro-machining process and a system, we have fabricated a UV laser micro-machining platform that is equipped with optical modules for monitoring the process online.

키워드

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