- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- TRUMPF
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2022 NOVEMBER Vol.25, No.11, 12~17쪽, 전체 6쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2022.11.30
국문 초록
영문 초록
목차
1. 웨이퍼 가열의 과제
2. VCSEL 가열 시스템
3. The VCSEL 웨이퍼 가열 솔루션
4. 웨이퍼 가열 실험 장치
5. 실리콘 웨이퍼 가열
6. 결론
키워드
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참고문헌
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