- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- Ralph Delmdahl
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2018 OCTOBER Vol.21, No.18, 10~12쪽, 전체 3쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2018.10.30
국문 초록
영문 초록
목차
엑시머 LLO를 활용한 고성능 박막 마이크로 LED
웨이퍼-패널 평행 이송에 활용되는 대형 엑시머 레이저 빔
고성능 마이크로 LED 픽셀에 필수적인 고이동성 저온폴리실리콘(LTPS) 후면판
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