- 영문명
- Stealth Dicing Technology and Applications
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- Hamamatsu
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2018 OCTOBER Vol.21, No.18, 14~23쪽, 전체 10쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2018.10.30
국문 초록
영문 초록
목차
1. 서론
2. 스텔스 다이싱 기술의 기본원리 및 메커니즘
3. 스텔스다이싱 기술의 적용
4. SD기술의 적용
5. 스텔스다이싱 기술이 디바이스 특성에 끼치는 영향
6. 결론
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참고문헌
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