Wet Station 장비 제어를 위한 모니터링 시스템의 설계

• 영문명: Design of a Monitoring System for controlling the Wet Station Equipment
• 발행기관: 호서대학교 공업기술연구소
• 저자명: 임성락 한광록 최용엽
• 간행물 정보: 『공업기술연구 논문집』제16권 제1호, 433~448쪽, 전체 16쪽
• 주제분류: 공학 > 제어계측공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 1997.12.30

국문 초록

본 논문에서는 반도체 제조 장비인 W e t S t a t io n 의 동작 상태를 사용자가 감지하고 이를 간접적으로 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계에 관하여 기술한다. 대부분의 기존 모니터링 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어의 범용성이 결여되어 있다. 제시한 모니터링 시스템의 기본 목표는 사용자의 편의성과 시스템의 범용성을 제공하는 것이 다. 이를 위하여 IB M PC 호환 기종의 W in d o w s N T 운영체제에서 G U I 기능을 이용한 사용자의 편의성과, T C P /IP 통신 프로토콜을 기본으로한 E th e r N e t 보드를 이용한 시스템의 범용성을 제공할 수 있도록 설계하였다.

목차

1 서 론 .

2. 시스템 설계

3. 결 론