LCD공정 장비용 Bake Chamber의 유한요소를 이용한 구조해석

• 영문명: F E M Structural Analysis o f Bake Chamber for L C D Processing Equipement
• 발행기관: 호서대학교 공업기술연구소
• 저자명: 김병삼(Byeong Sam Kim) 송연민(Youn Min Song) 강기준(Ki Jun Kang)
• 간행물 정보: 『공업기술연구 논문집』제29권 제1호, 1~6쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 제어계측공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2010.06.30

국문 초록

본 논문은 초대형 TFT-LCD용 Bake Chamber의 주요 구성 부품에 대하여 구조적 특성을 분석 하고, 이들 부품에 대하여 구조해석모델을 설계하고 검증하는 것이다. Bake Chamber의 구조해석을 위하여 상용 프로그램인 Hyper Works 을 이용하여 구조해석모델을 설계하고，ABAQUS을 이용하여 시뮬레이션을 수행하였으며, 해석모델을 변경하면서 시물레이션 결과와 실제 시험 결과를 비교 검증하 였 다 . 본 연구에서는 Bake Chamber 상부덮개 중앙 Frame의 처짐, HP Glass의 하중과 열에 의한 처짐을 구조해석을 통해 시뮬레이션을 하였다. 본 논문에서는 구조해석을 통하여 Bake Chamber 및 Glass의 기계적 특성을 연구하고 시뮬레이션을 수행함으로서 Bake Chamber의 응력 분포 및 변위에 대한 기초자료를 제시 하였다.

목차

1. 서 론

2. 설계 및 해석

3. 해석 결과

4. 결 론

후 기

키워드

LCD(박막형 디스플레이 Bake Chamber(베이크 챔버 FEM(유한요소해석) Heat analysis(열해석)