MEMS 소자에서의 비선형 현상

• 영문명: Nonlinear Phenomena in MEMS Device
• 발행기관: 한국전자통신학회
• 저자명: 김주완(Ju-Wan Kim) 구영덕(Young-Duk Koo) 배영철(Young-Chul Bae)
• 간행물 정보: 『한국전자통신학회 논문지』제7권 제5호, 1073~1078쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 전자/정보통신공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2012.10.30

국문 초록

본 논문에서는 MEMS에서 비선형적인 특성을 확인하기 위하여 Duffing 방정식을 가지는 MEMS 시스템을 제안하고 여기에 다른 종류의 비선형 항을 삽입하였을 때의 비선형 현상을 분석하였다. 검증 방법으로 파라미터 변화에 의한 카오스 운동이 있음을 시계열 데이터, 위상 공간, 전력 스펙트럼을 통하여 확인하였다.

영문 초록

In this paper, we propose the MEMS system with Duffing equation to confirm nonlinear features in MEMS system. We also analyze nonlinear phenomena when adding the nonlinear term of another type. As a verification, we confirm chaotic motion by parameter variation through the time series, phase portrait and power spectrum.

목차

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. MEMS 회로

Ⅲ. 파라미터 변화에 의한 비선형 특성

lⅤ. 결론 및 향후 과제

참고 문헌

키워드

Chaos Nonlinear Dynamics MEMS vibration signal Duffing equation 카오스 비선형 동적 시스템 MEMS 진동 신호 Duffing 방정식