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학술논문

비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구

이용수 33

영문명
An Optical on ELC Process of Amorphous Silicon
발행기관
한국레이저가공학회
저자명
김우진(W. J. Kim) 윤창환(Y. C. Hwan) 박승호(S. H. Park) 김형준(H. J. Kim)
간행물 정보
『한국레이저가공학회지』한국레이저가공학회지 제6권 제2호, 9~17쪽, 전체 9쪽
주제분류
공학 > 기계공학
파일형태
PDF
발행일자
2003.08.01
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논문 표지

국문 초록

영문 초록

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
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APA

김우진(W. J. Kim),윤창환(Y. C. Hwan),박승호(S. H. Park),김형준(H. J. Kim). (2003).비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구. 한국레이저가공학회지, 6 (2), 9-17

MLA

김우진(W. J. Kim),윤창환(Y. C. Hwan),박승호(S. H. Park),김형준(H. J. Kim). "비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구." 한국레이저가공학회지, 6.2(2003): 9-17

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