이송축 특성을 고려한 미세가공용 오토포커싱 장치의 피드백 제어

• 영문명: Feedback control of auto-focus system for micro-fabrication considering the characteristics of feed axis
• 발행기관: 한국레이저가공학회
• 저자명: 김상인(S. I. Kim) 이광일(K. I. Lee) 김호상(H. S. Kim) 이경돈(K. D. Lee)
• 간행물 정보: 『한국레이저가공학회 학술대회 논문집』2007년도 춘계학술발표대회 논문집, 102~107쪽, 전체 6쪽
• 주제분류: 공학 > 기계공학
• 파일형태: PDF
• 발행일자: 2007.06.30

영문 초록

  In this paper, auto-focusing system for laser micro-fabrication is presented and experimented. Confocal signal is considered as focusing error by using source modulation for auto-focusing control. And that signal is also used as error at the control of Z-axis moving auto-focusing system especially. So Z-axis characteristic represented as repeatability is captured using laser interferometer. Finally, auto-focusing experiment is done considering Z-axis feature and using off-line feedback control with the specimen of mirror.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 자동초점조절 장치
3. Z축의 반복정밀도 및 미러 표면에의 AF 적용실험
4. 결론
참고 문헌