학술논문
코히런트 반도체 제조 솔루션: EUV 리소그래피
이용수 2
- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- Coherent
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2024 NOVEMBER Vol.27, No.11, 40~43쪽, 전체 4쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2024.11.30
4,000원
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국문 초록
영문 초록
목차
극자외선(EUV) 리소그래피
EUV 리소그래피용 광학
EUV 리소그래피용 구조 부품(EUV 리소그래피용 컴포넌트 구조)
Coherent: 혁신과 성공을 위한 파트너
키워드
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참고문헌
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