학술논문
EUV 리소그래피 최고의 기술에 관한 5가지 사실
이용수 4
- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- TRUMPF Laser
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2024 OCTOBER Vol.27, No.10, 10~11쪽, 전체 2쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2024.10.31
4,000원
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국문 초록
영문 초록
목차
1. EUV 리소그래피(lithography)란?
2. EUV 리소그래피 작동 방식
3. EUV 리소그래피가 필요한 이유
4. TRUMPF의 역할
5. EUV 리소그래피 시스템 제조업체
키워드
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참고문헌
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