학술논문
'노광 한 번으로 초미세 회로를' 아이멕·ASML, 차세대 EUV 성능 구현
이용수 1
- 영문명
- 발행기관
- 한국레이저가공학회
- 저자명
- 권동준
- 간행물 정보
- 『Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)』2024 AUGUST Vol.27, No.8, 26~27쪽, 전체 2쪽
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
- 파일형태
- 발행일자
- 2024.08.31
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해당간행물 수록 논문
- Cover Story
- 빛의 속도로 날아가 드론 ‘쾅’…英 트럭 위서 ‘레이저 무기’ 발사 성공
- '노광 한 번으로 초미세 회로를' 아이멕·ASML, 차세대 EUV 성능 구현
- 인간 건강 모니터링을 위한 CuO 나노입자 가 포함된 UV 레이저 그래핀 산화물 기반의 매우 유연하고 민감한 스트레인 센서 제작 [Ⅱ]
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지) 2024 AUGUST Vol.27, No.8 Contents
- 2차 패시베이션 없이도 부식에 최적화된 블랙 마킹
- 3D 센싱으로 완벽한 형상 구현
- 스마트 팩토리: Mercedes-Benz 글로벌 생산 네트워크에서의 TRUMPF 레이저 디지털 유지보수
참고문헌
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