MEMS와 Bio MEMS의 이해와 제조 공정

고속비행오리406 지음

작가와 2025년 03월 01일 출간

작품소개

책소개

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)와 Bio MEMS는 현대 기술의 발전과 함께 중요성이 커지고 있는 미세전자기계시스템과 바이오 미세전자기계시스템을 말합니다. 이 책은 MEMS와 Bio MEMS의 기본 개념과 원리부터 시작하여, 제조 공정과 구조 분석, 성분 분석 등을 포함한 응용 분야까지 다루고 있습니다.
독자들은 이 책을 통해 MEMS와 Bio MEMS의 전반적인 이해와 제조 공정에 대한 지식을 습득할 수 있으며, 이를 바탕으로 새로운 기술과 응용 분야를 탐구하는 데 도움이 될 것입니다. 이 책이 MEMS와 Bio MEMS에 관심이 있는 모든 분들에게 유용한 자료가 되기를 바랍니다.

목차

제1장 MEMS 개요
■ MEMS 소자의 종류 | 5p
■ MEMS 소자의 재료와 특성 | 14p

제2장 반도체 공정 1
■ 실리콘 웨이퍼의 제조 공정 | 21p
■ 반도체 산화, 확산 공정 | 26p

제3장 반도체 공정 2
■ 반도체 포토(Photo)공정 | 35p
■ 반도체 식각(Etching)공정 | 42p

제4장 반도체 공정 3
■ 반도체 CVD와 PVD 공정 | 49p
■ 세정공정(Cleaning)과 CMP | 59p

제5장 MEMS 제조 공정 1
■ MEMS 제조 공정의 종류 | 66p
■ MEMS 제조 공정의 특징 | 73p

제6장 MEMS 제조 공정 2
■ MEMS 잉크젯 프린트 헤드 공정 | 79p
■ MEMS 자이로스크프와 DMD 공정 | 84p

제7장 MEMS 제조 공정 3
■ MEMS 패키지 | 89p
■ MEMS 구조 분석과 표면 분석 | 100p

제8장 Bio MEMS 개요와 Device
■ Bio MEMS 개요 | 105p
■ Bio MEMS Device의 종류와 특징 | 110p

제9장 Bio MEMS 제조 공정 1
■ Bio MEMS 제조 공정의 종류 | 115p
■ Bio MEMS 제조 공정의 특징 | 121p

제10장 Bio MEMS 제조 공정 2
■ Bio MEMS 패터닝 공정 | 124p
■ HAR 실리콘 딥 식각 공정 | 129p

제11장 Bio MEMS의 평가
■ Bio MEMS의 구조 분석 | 134p
■ Bio MEMS의 성분 분석 | 139p

제12장 MEMS 산업의 현재와 미래
■ MEMS산업의 현황과 제조업체 | 144p
■ MEMS 산업의 전망 | 151p

책 속으로

제1장에서는 MEMS 소자의 종류와 재료, 특성을 소개하며, 제2장부터 제4장까지는 반도체 공정을 다룹니다. 제5장부터 제7장까지는 MEMS 제조 공정을 다루고, 제8장부터 제10장까지는 Bio MEMS의 개요와 디바이스, 제조 공정을 소개합니다. 마지막으로 제11장에서는 Bio MEMS의 구조와 성분을 분석하고, 제12장에서는 MEMS 산업의 현재와 미래를 전망합니다.

작가정보

저자(글) 고속비행오리406

- 작가 주요 경력 -

★ 제조사 근무 경력 17년(SCM, 생산, 품질관리, 인사 등 업무 담당)

★ 직업능력개발훈련교사