박막 증착 공정의 이해와 응용

미래소년107 지음

작가와 2024년 10월 14일 출간

작품소개

책소개

현대 산업 기술의 발전과 함께, 박막 증착 공정은 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 분야에서 중요한 역할을 하고 있습니다. 이 책은 박막 증착 공정의 기초부터 응용까지, 다양한 이론과 실제 공정 기술을 다루고 있습니다.


이 책은 박막 증착 공정에 대한 이론과 실제를 종합적으로 다루고 있어, 관련 분야의 전공자나 실무자들에게 유용한 참고 자료가 될 것입니다. 독자 여러분들의 많은 관심과 성원 부탁드립니다.

목차

제1장 박막 증착 공정의 개요
■ 박막의 정의 및 응용 분야 | 5p
■ 박막에 필요한 특성 | 8p
■ 박막의 제조 방법 | 10p
■ 박막의 분석 방법 | 12p

제2장 진공 기술
■ 진공과 압력 | 16p
■ 진공 펌프 및 게이지 | 21p
■ 기체의 유동 특성 | 32p

제3장 플라즈마 공정
■ 플라즈마의 생성 원리 | 36p
■ 플라즈마의 종류 | 42p
■ 플라즈마의 응용 | 50p

제4장 물리적 기상 증착 1
■ 스퍼터링 원리 | 54p
■ 스퍼터링 공정의 종류 | 59p
■ 스퍼터 설비의 운용 | 68p

제5장 물리적 기상 증착 2
■ 진공증발 증착법의 원리 | 79p
■ 진공증발 증착법의 종류 및 특성 | 88p
■ 진공증발 증착 설비의 운용 | 95p

제6장 화학적 기상 증착
■ 화학적 기상 증착의 원리 | 102p
■ 화학적 기상 증착 공정의 종류 | 116p
■ 화학적 기상 증착 설비의 운용 | 135p

제7장 원자층 증착
■ 원자층 증착의 원리 | 141p
■ 원자층 증착 공정의 종류 | 164p
■ 원자층 증착 설비의 운용 | 176p

제8장 박막 증착을 통한 소자 제조 및 분석
■ 박막 태양전지의 특성 및 구조 | 184p
■ 각 층별 박막 증착 | 188p
■ 제조된 박막 태양전지의 특성 확인 | 204p

책 속으로

제1장에서는 박막의 정의와 응용 분야, 필요한 특성, 제조 방법, 분석 방법 등을 소개합니다. 이를 통해 박막 증착 공정의 기본 개념을 이해할 수 있습니다.

제2장에서는 진공 기술의 기초와 진공 펌프 및 게이지, 기체의 유동 특성 등을 다룹니다. 진공 기술은 박막 증착 공정에서 매우 중요한 역할을 합니다.

제3장에서는 플라즈마 공정의 원리와 종류, 응용 등을 소개합니다. 플라즈마는 박막 증착 공정에서 다양한 방식으로 활용됩니다.

제4장과 제5장에서는 물리적 기상 증착(PVD)의 원리와 공정의 종류, 스퍼터 설비의 운용 등을 다룹니다. 물리적 기상 증착은 박막 증착 공정에서 가장 많이 사용되는 기술 중 하나입니다.

제6장에서는 화학적 기상 증착(CVD)의 원리와 공정의 종류, CVD 설비의 운용 등을 소개합니다. 화학적 기상 증착은 박막 증착 공정에서 물리적 기상 증착과 함께 많이 사용되는 기술입니다.

제7장에서는 원자층 증착(ALD)의 원리와 공정의 종류, ALD 설비의 운용 등을 다룹니다. 원자층 증착은 최근 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 기술로 주목받고 있습니다.

제8장에서는 박막 증착을 통한 소자 제조 및 분석을 다룹니다. 특히, 박막 태양전지의 특성과 구조, 각 층별 박막 증착, 제조된 박막 태양전지의 특성 확인 등을 소개합니다.

작가정보

저자(글) 미래소년107

- 작가 주요 경력 -

★ 화장품 제조사 근무 경력 17년( 화장품 SCM, 생산, 품질관리, 인사 등 업무 담당)

★ 직업능력개발훈련교사