본문 바로가기

추천 검색어

실시간 인기 검색어

반도체장비의 이해

장인배 지음
에이퍼브프레스

2024년 03월 20일 출간

종이책 : 2024년 02월 29일 출간

(개의 리뷰)
( 0% 의 구매자)
eBook 상품 정보
파일 정보 pdf (217.59MB)
ISBN 9791198699701
듣기(TTS) 가능
TTS 란?
텍스트를 음성으로 읽어주는 기술입니다.
  • 전자책의 편집 상태에 따라 본문의 흐름과 다르게 텍스트를​ 읽을 수 있습니다.
  • 전자책 화면에 표기된 주석 등을 모두 읽어 줍니다.
  • 이미지 형태로 제작된 전자책 (예 : ZIP 파일)은 TTS 기능을 지원하지 않습니다.
  • '교보 ebook' 앱을 최신 버전으로 설치해야 이용 가능합니다. (Android v3.0.26, iOS v3.0.09,PC v1.2 버전 이상)
  • sam 무제한 이용가능
  • sam 프리미엄 이용가능

이 상품은 배송되지 않는 디지털 상품이며,
교보eBook앱이나 웹뷰어에서 바로 이용가능합니다.

작품소개

이 상품이 속한 분야

반도체는 다양한 산업 분야에서 폭넓게 쓰이고 있으며 대한민국 최대 수출품목으로 한국 경제와 산업을 선도하고 있다. 한국 경제를 이끄는 반도체 생산에 사용되는 각종 공정장비들과 반도체 생산기술은 극도의 보안이 유지되어 교육하는 것이 힘들다. 그러나 이 책에서는 보안이 필요한 부분은 변형해 반도체장비에 관해 학습하는 과정에 아무런 문제가 되지 않도록 기술되었다. 저자는 삼성전자 설비기술연구소, AP시스템, 삼성전기, 케이씨텍 등 반도체장비 생산기업에 설계 관련 애로기술자문을 수행해 왔다. 저자의 경험을 바탕으로 반도체장비에 관해 상세하게 쓰인 이 책은 대한민국 반도체 산업의 미래를 열 수 있도록 최고급 엔지니어들의 혁신적인 역량을 높일 수 있는 적합한 교재로 활용될 수 있을 것이다.
이 책은 13장으로 구성되어 있다. 1장에서는 반도체공장의 개요를 설명한다. 2장에서는 웨이퍼 제조와 CMP를, 3장에서는 굴절식 포토마스크를, 5장에서는 반사식 포토마스크를 상세하게 설명한다. 6장에서는 극자외선 노광장비를, 7장에서는 포토공정과 장비를, 8장에서는 식각공정과 장비를, 9장에서는 웨이퍼 세정을 살펴본다. 10장에서는 적층공정을, 11장에서는 웨이퍼레벨 패키지를, 12장에서는 팹(FAB) 물류를, 13장에서는 팹(FAB) 인프라를 다룬다. 아울러 약어들은 책 뒷부분에 표로 정리해놓았다. 이 책은 다년간 자문활동을 한 저자가 반도체장비에 관한 다양한 경험을 풀어내어 반도체장비에 관해 이해할 수 있는 소중한 기회를 제공해 줄 것이다.
머리말

Chapter01 반도체공정 개요
1.1 웨이퍼와 풉(FOUP)
1.2 집적회로 생산공정
1.3 주요 장비업체 소개

Chapter02 웨이퍼 제조와 CMP
2.1 반도체 개요
2.2 실리콘 잉곳 생산
2.3 단결정 잉곳의 후가공
2.4 화학-기계적 연마(CMP)
2.5 웨이퍼 표면처리와 세정

Chapter03 굴절식 포토마스크
3.1 포토마스크 개요
3.2 마스크 제조공정
3.3 전공정
3.4 마스크검사
3.5 마스크 수리
3.6 마스크 측정
3.7 펠리클
3.8 SMIF 포드
3.9 마스크숍
3.10 포토마스크 시장현황과 메이저 제조업체들

Chapter04 굴절식 노광장비
4.1 노광기술의 역사
4.2 광학식 노광기술
4.3 웨이퍼 스캐너
4.4 웨이퍼 스캐너의 위치측정
4.5 웨이퍼 스테이지의 운동제어

Chapter05 반사식 포토마스크
5.1 서언
5.2 극자외선 포토마스크의 요구조건
5.3 다중층
5.4 표면층
5.5 포토마스크 패터닝
5.6 측정
5.7 마스크 수리
5.8 마스크 세척
5.9 펠리클과 마스크호

Chapter06 극자외선 노광장비
6.1 서언
6.2 극자외선용 플라스마 광원
6.3 반사광학계
6.4 상용 극자외선 노광기
6.5 극자외선용 포토레지스트
6.6 극자외선노광 기술개발 로드맵

Chapter07 포토공정과 장비
7.1 서언
7.2 포토공정
7.3 포토레지스트
7.4 베이크
7.5 현상
7.6 포토장비의 구조
7.7 상용장비

Chapter08 식각공정과 장비
8.1 서론
8.2 습식식각
8.3 건식식각
8.4 플라스마 식각장비
8.5 설계사례 고찰

Chapter09 웨이퍼 세정
9.1 서론
9.2 습식 세정기술
9.3 습식 세정장비
9.4 웨이퍼 헹굼과 건조
9.5 증기 세정
9.6 플라스마 박리와 세정
9.7 극저온/초임계 세정기술

Chapter10 적층공정
10.1 서론
10.2 실리콘 관통전극(TSV)
10.3 웨이퍼 박막가공
10.4 화학-기계적 연마
10.5 유리 캐리어 접착과 탈착
10.6 적층접합

Chapter11 웨이퍼레벨 패키지
11.1 서론
11.2 웨이퍼레벨 패키지
11.3 웨이퍼레벨 패키지의 조립
11.4 팬아웃 패키지
11.5 패널레벨 패키징

Chapter12 팹(FAB) 물류
12.1 서언
12.2 수평물류
12.3 수직물류
12.4 물류보관 시스템

Chapter13 팹(FAB) 인프라
13.1 압축공기
13.2 진공
13.3 탈이온수
13.4 기체공급 인프라
13.5 클린룸 공기

컬러 도판
약어
찾아보기

작가정보

저자(글) 장인배

ㆍ 서울대학교 기계설계학과 학사, 석사, 박사
ㆍ 현) 삼성전자 설비기술연구소 기술자문
ㆍ 현) AP시스템(AP 홀딩스, 코닉오토메이션) 기술자문
ㆍ 현) 삼성전기 기술자문
ㆍ 현) 케이씨텍 기술자문
ㆍ 현) 강원대학교 메카트로닉스공학전공 교수

저서 및 역서
『센서와 작동기』(에이퍼브프레스, 2023)
『정밀기계설계』(도서출판 씨아이알, 2021)
『CMP 웨이퍼 연마』(도서출판 씨아이알, 2021)
『웨이퍼 세정기술』(도서출판 씨아이알, 2020)
『정밀공학』(도서출판 씨아이알, 2019)
『웨이퍼레벨 패키징』(도서출판 씨아이알, 2019)
『유기발광다이오드 디스플레이와 조명』(도서출판 씨아이알, 2018)
『3차원 반도체』(도서출판 씨아이알, 2018)
『유연메커니즘: 플랙셔힌지의 설계』(도서출판 씨아이알, 2018)
『연료전지』(동화기술, 2017)
『광학기구설계』(도서출판 씨아이알, 2017)
『포토마스크기술』(도서출판 씨아이알, 2016)
『정확한 구속: 기구학적 원리를 이용한 기계설계』(도서출판 씨아이알, 2016)
『고성능 메카트로닉스의 설계』(동명사, 2015)
『전기전자회로실험』(동명사, 2011)

이 상품의 총서

Klover리뷰 (0)

Klover리뷰 안내
Klover(Kyobo-lover)는 교보를 애용해 주시는 고객님들이 남겨주신 평점과 감상을 바탕으로, 다양한 정보를 전달하는 교보문고의 리뷰 서비스입니다.
1. 리워드 안내
구매 후 90일 이내에 평점 작성 시 e교환권 100원을 적립해 드립니다.
  • - e교환권은 적립일로부터 180일 동안 사용 가능합니다.
  • - 리워드는 1,000원 이상 eBook, 오디오북, 동영상에 한해 다운로드 완료 후 리뷰 작성 시 익일 제공됩니다.
  • - 리워드는 한 상품에 최초 1회만 제공됩니다.
  • - sam 이용권 구매 상품 / 선물받은 eBook은 리워드 대상에서 제외됩니다.
2. 운영 원칙 안내
Klover리뷰를 통한 리뷰를 작성해 주셔서 감사합니다. 자유로운 의사 표현의 공간인 만큼 타인에 대한 배려를 부탁합니다. 일부 타인의 권리를 침해하거나 불편을 끼치는 것을 방지하기 위해 아래에 해당하는 Klover 리뷰는 별도의 통보 없이 삭제될 수 있습니다.
  • 도서나 타인에 대해 근거 없이 비방을 하거나 타인의 명예를 훼손할 수 있는 리뷰
  • 도서와 무관한 내용의 리뷰
  • 인신공격이나 욕설, 비속어, 혐오 발언이 개재된 리뷰
  • 의성어나 의태어 등 내용의 의미가 없는 리뷰

구매 후 리뷰 작성 시, e교환권 100원 적립

문장수집

문장수집 안내
문장수집은 고객님들이 직접 선정한 책의 좋은 문장을 보여 주는 교보문고의 새로운 서비스 입니다. 교보eBook 앱에서 도서 열람 후 문장 하이라이트 하시면 직접 타이핑 하실 필요 없이 보다 편하게 남길 수 있습니다. 마음을 두드린 문장들을 기록하고 좋은 글귀들은 ‘좋아요’ 하여 모아보세요. 도서 문장과 무관한 내용 등록 시 별도 통보없이 삭제될 수 있습니다.
리워드 안내
  • 구매 후 90일 이내에 문장 수집 등록 시 e교환권 100원을 적립해 드립니다.
  • e교환권은 적립일로부터 180일 동안 사용 가능합니다.
  • 리워드는 1,000원 이상 eBook에 한해 다운로드 완료 후 문장수집 등록 시 제공됩니다.
  • 리워드는 한 상품에 최초 1회만 제공됩니다.
  • sam 이용권 구매 상품/오디오북·동영상 상품/주문취소/환불 시 리워드 대상에서 제외됩니다.

구매 후 문장수집 작성 시, e교환권 100원 적립

    교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!

    신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.

    바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
    지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!

    교보e캐시 1,000원
    TOP
    신간 알림 안내
    반도체장비의 이해 웹툰 신간 알림이 신청되었습니다.
    신간 알림 안내
    반도체장비의 이해 웹툰 신간 알림이 취소되었습니다.
    리뷰작성
    • 구매 후 90일 이내 작성 시, e교환권 100원 (최초1회)
    • 리워드 제외 상품 : 마이 > 라이브러리 > Klover리뷰 > 리워드 안내 참고
    • 콘텐츠 다운로드 또는 바로보기 완료 후 리뷰 작성 시 익일 제공
    감성 태그

    가장 와 닿는 하나의 키워드를 선택해주세요.

    사진 첨부(선택) 0 / 5

    총 5MB 이하로 jpg,jpeg,png 파일만 업로드 가능합니다.

    신고/차단

    신고 사유를 선택해주세요.
    신고 내용은 이용약관 및 정책에 의해 처리됩니다.

    허위 신고일 경우, 신고자의 서비스 활동이 제한될 수
    있으니 유의하시어 신중하게 신고해주세요.


    이 글을 작성한 작성자의 모든 글은 블라인드 처리 됩니다.

    문장수집 작성

    구매 후 90일 이내 작성 시, e교환권 100원 적립

    eBook 문장수집은 웹에서 직접 타이핑 가능하나, 모바일 앱에서 도서를 열람하여 문장을 드래그하시면 직접 타이핑 하실 필요 없이 보다 편하게 남길 수 있습니다.

    P.
    반도체장비의 이해
    저자 모두보기
    저자(글)
    낭독자 모두보기
    sam 이용권 선택
    님이 보유하신 이용권입니다.
    차감하실 sam이용권을 선택하세요.
    sam 이용권 선택
    님이 보유하신 이용권입니다.
    차감하실 sam이용권을 선택하세요.
    sam 이용권 선택
    님이 보유하신 프리미엄 이용권입니다.
    선물하실 sam이용권을 선택하세요.
    결제완료
    e캐시 원 결제 계속 하시겠습니까?
    교보 e캐시 간편 결제
    sam 열람권 선물하기
    • 보유 권수 / 선물할 권수
      0권 / 1
    • 받는사람 이름
      받는사람 휴대전화
    • 구매한 이용권의 대한 잔여권수를 선물할 수 있습니다.
    • 열람권은 1인당 1권씩 선물 가능합니다.
    • 선물한 열람권이 ‘미등록’ 상태일 경우에만 ‘열람권 선물내역’화면에서 선물취소 가능합니다.
    • 선물한 열람권의 등록유효기간은 14일 입니다.
      (상대방이 기한내에 등록하지 않을 경우 소멸됩니다.)
    • 무제한 이용권일 경우 열람권 선물이 불가합니다.
    이 상품의 총서 전체보기
    네이버 책을 통해서 교보eBook 첫 구매 시
    교보e캐시 지급해 드립니다.
    교보e캐시 1,000원
    • 첫 구매 후 3일 이내 다운로드 시 익일 자동 지급
    • 한 ID당 최초 1회 지급 / sam 이용권 제외
    • 네이버 책을 통해 교보eBook 구매 이력이 없는 회원 대상
    • 교보e캐시 1,000원 지급 (유효기간 지급일로부터 7일)
    구글북액션을 통해서 교보eBook
    첫 구매 시 교보e캐시 지급해 드립니다.
    교보e캐시 1,000원
    • 첫 구매 후 3일 이내 다운로드 시 익일 자동 지급
    • 한 ID당 최초 1회 지급 / sam 이용권 제외
    • 구글북액션을 통해 교보eBook 구매 이력이 없는 회원 대상
    • 교보e캐시 1,000원 지급 (유효기간 지급일로부터 7일)