초고진공이 여는 세계(하이테크를 뒷받침하는 기초지식)

고미야 소지 지음 | 옮김

전파과학사 2015년 07월 01일 출간

작품소개

책소개

진공 기술에서 일어난 혁신이란 무엇인가. 바늘 구멍만한 크기 속에 복잡한
회로를 인쇄해 넣는 LSI의 제조 등은 먼지를 없앤 깨끗한 환경 아래에서
해야한다. 그것을 실현하는 것도 진공 기술의 하나이다. 보통 ‘진공’이란
공간 속의 기체 분자가 적은 상태라고 생각되고 있다. 그러나, 더욱
‘청정’의 극한을 추구하면 단지 공간의 분자 밀도를 적게 할 뿐만 아니라
물질 표면에 붙은 기체 분자 하나하나의 동작에 주목해야 한다. 여기에서부터
초고진공 기술이 태어났다. 이 기술 혁신에서 무엇이 일어나고 무엇이
가능해졌는가?!

목차

1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전
지구는 진공 속에 떠 있다/ 진공기술의 새벽/ 수은에서 기름으로 바꿔간 진공 펌프/ 진공을 어떻게 측정했는가?/ 큰 전환/

2. 진공 공업이 더듬어온 길
진공을 기계적으로 이용한다/ 진공의 화학적 이용/ 진공의 물리적 이용/ 진공의 생물에의 응용/ 진공 공업 관련 수목도/ 진공 공업의 성장 분야/

3. 기장 눈부신 발전 - 진공을 이용한 성막 공업
진공 중에서의 성막 방법/ 진공 증착이란?/ 진공 중의 증발 현상/ 기판상에의 증착/ 플라스틱에의 증착/ 증발원/ 진공 증착은 전자 공업과 더불어/

4. 감기 증착
메탈라이즈드 페이퍼 콘댄서/ 금은지의 소재로서.../ 전사 실 그 밖의 응용이 넓어지다/ 태양열 선택 반사？흡수막/ 고밀도 자기 기록 테이프/ 대량 생산에 알맞은 필름이라는 소재/

5. 이온 플레이팅
이온 플레이팅이란 무엇인가?/ 습식 크롬 도금과 환경 문제/ 홀로 캐소드 방전법/ 탄화물, 질화물의 이온 플레이팅/ 특수강의 공구 수명이 늘어났다/ 단단하고 내식성이 있는 금색 코팅/ 반도체 프로세스에는 이온 플레이팅이 알맞지 않은가?/

6. 플라스마 프로세스 - 스퍼터링
방전 현상/ 스퍼터링이란 무엇인가?/ 스퍼터링에 의한 성막의 특징/ 위대한 실용적 진보-평판 마그네트론 스퍼터원/ 스퍼터 증착의 마무리/

7. 초고진공 I - 깨끗한 진공을 만든다
깨끗한 진공과 초고진공 기술/ 물리 흡착과 슈퍼벌/ 기름 증기 분자의 특이한 행동/ 기름 증기 분자의 역류/ 기름 확산 펌프로는 깨끗한 진공을 만들 수 없다/ 초고진공 펌프의 삼총사/ 수증기 분자의 흡착과 탈리/

8. 초고진공 II -표면과학과 분자선 에피택시얼 성장
표면 과학과 초고진공 기술/ 실리콘 표면에 고유한 초격자 구조 / 오제 전자 분광이란 무엇인가?/ 표면에만 민감한 화학 분석/ 오제 전자 분광과 깊이 방향 분석/ 분자선 에피택시얼 성장/

9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술
지금 반도체 공장에서는.../ 활성 가스 이온 에칭(RIE)/
어디까지 선폭을 가늘게 할 수 있는가?/ 플라스마로부터 받는 웨이퍼의 손상/ 플라스마 CVD/ 이온 주입이란 무엇인가?/ 플라스마 이온빔 이용 기술의 마무리/

10. 거대 과학과 초고진공 기술-앞으로의 진전
여기까지 온 진공 기술/ 핵융합과 깨끗한 플라스마/ 고에너지 입자 가속기와 SOR광/ 알루미늄 합금제 초고진공 배기계/ 앞으로의 진전에 중요한 진공 중의 더스트(먼지) 연구/

작가정보

저자(글) 고미야 소지

1928년 도쿄 태생.
1948년 도쿄공업대학 부속공업전문부 금속공학과 졸업.
1959년일본 진공 기술(주)에 입사 후 연구부 연구 주임, UHV 부장 등을 거쳐
이사？기술개발 부장. 공학 박사. 진공협회, 응용 물리학회, American Vaccum Society 회원 역임
저서 〈초고친공〉(일간 공업신문사), 《표면 분석〉(고단사), 《분자선 에피택시얼 기술》(공업 조사회) 등(모두 공저).

번역

1927년 함남 함흥생.
서울대 사범대수학. 전파과학사 주간, 동아출판사 편집부
신원기획 일어부 근무.
역서 : <현대물리학입문>, <인류가 태어난 날I？II>, <물리학의 재발견(上？下)〉,
〈우주의 종말> 등.