반도체 특강: 소자편

진종문 지음

한빛아카데미 2022년 12월 13일 출간 국내도서 : 2022년 12월 15일 출간

작품소개

책소개

이 책은 반도체 관련 학과 학생, 반도체 업종에서 근무하거나 반도체와 연관된 전문 분야에서 일하고자 하는 이들을 대상으로 하며, 반도체에 대한 개념을 다지고 기본 원리를 이해하여 실무에 폭넓게 활용할 수 있도록 했다. 반도체가 궁금한 일반인들도 충분히 이해할 수 있도록 반도체의 근본 속성과 포괄적 원리를 다루었으며, 핵심적인 기반 기술을 중심으로 상세히 설명하여 꼭 반도체 전문가가 아니더라도 내용을 충분히 소화할 수 있도록 했다.

* 본 도서의 해설 및 정오표는 한빛아카데미 홈페이지에서 다운로드할 수 있습니다.
(홈페이지 접속 -도서명 검색 - 도서 상세페이지의 [부록/예제소스])

* 관련 도서
-. IT@CookBook, 반도체 공학(개정판) (한빛아카데미, 2017)
-. IT@CookBook, 핵심이 보이는 반도체 공학 (한빛아카데미, 2015)
-. IT@CookBook, 현대 반도체 소자 공학 (한빛아카데미, 2013)

목차

PART 01 반도체와 마케팅
01 20세기 최고의 발명품, 점 접촉 트랜지스터
02 자유전자의 탄생
03 전자와 에너지
04 반도체의 정의
05 디램과 낸드 플래시
06 넷다이, 반도체 테크놀로지가 결정하다
07 메모리의 성장과 제품의 세대교체
08 용량과 원가, 그리고 시장지배력

PART 02 층 쌓기, 반도체를 짓다
09 웨이퍼의 종류와 특성
10 초순수 위에 극초순수를 쌓다, 에피텍시 기술
11 이상적인 절연 기능, 산화막
[반도체 탐구 영역] 산화막 편
12 게이트 옥사이드의 기능과 신뢰성
[반도체 탐구 영역] 게이트 옥사이드 편
13 ALD, 분자막 쌓기
14 가스로 필름을 만드는 CVD
[반도체 탐구 영역] 화학기상증착(CVD) 편
15 MOS, 수직축으로 본 전계의 전달
16 게이트 단자의 변신
[반도체 탐구 영역] 게이트 단자 편
17 팹 프로세스 1 : 게이트 + 게이트 옥사이드
[반도체 탐구 영역] ALD 편

PART 03 패턴을 조각하다
18 빛과 돌로 만드는 반도체, 포토-리소그래피
[반도체 탐구 영역] 포토-리소그래피 편
19 포토 공정 : 감광액(PR) 도포하기
20 포토 공정 : 노광과 현상
[반도체 탐구 영역] 포토 공정 편
21 프로세스의 카운셀러, 플라즈마
[반도체 탐구 영역] 플라즈마 편
22 식각 : 패턴을 시작하다
23 식각 : 패턴을 완성하다
[반도체 탐구 영역] 식각 편
24 반도체를 세탁하다, 세정 공정
[반도체 탐구 영역] 세정 공정 편
25 팹 프로세스 2 : 소자분리막(STI) 구축하기

PART 04 트랜지스터, 농도의 화신
26 확산, 모두를 포용하다
[반도체 탐구 영역] 확산 편
27 이온주입, 건설적 파괴
[반도체 탐구 영역] 이온주입 편
28 웨이퍼를 담금질하다, 파괴를 복원하는 어닐링
[반도체 탐구 영역] 어닐링 편
29 다수 캐리어와 소수 캐리어
30 캐리어의 사막지대, 결핍 영역
31 FET, 수평축으로 본 전자의 이동

PART 05 MOSFET 특성과 CMOS 스위칭
32 문턱전압, 트랜지스터 동작의 첫걸음
[반도체 탐구 영역] 문턱전압 편
33 채널, 전자의 이동통로
34 단채널 부작용과 누설전류
[반도체 탐구 영역] 단채널 부작용과 누설전류 편
35 팹 프로세스 3 : 스페이서 + LDD
36 MOSFET 동작특성, 드레인 전류의 변화
37 CMOS, 반도체 르네상스를 이끈 디바이스의 최강자
38 이상적인 스위칭, CMOS 동작특성
[반도체 탐구 영역] CMOS 동작특성 편

작가정보

저자(글) 진종문

한국항공대학교 전자공학과를 졸업(공학사)한 후 모토로라 코리아(Motorola Korea Co., Ltd. 반도체 부문) Final Test에서 High Frequency & Optical Device의 Test Engineering Reliability & Assurance를 담당했다. 현대전자산업㈜ 반도체 품질보증실(DRAM Memory), 사명이 변경된 하이닉스반도체㈜ 품질보증실(DRAM Based Module), Mobile & Flash 사업본부(NAND Flash Memory & Marketing), Flash 개발본부(NAND Flash Memory)에서 수석연구원을 지냈고, 다시 사명이 변경된 SK하이닉스㈜ Flash Solution 개발본부(NAND Flash Memory), NAND Solution 개발본부(NAND Based SSD)의 수석연구원을 포함하여 27년간 반도체 제품에 대한 신뢰성/품질 및 연구개발을 진행했다. 현재는 충북에 위치한 반도체 분야 마이스터고에서 〈반도체 개발〉 과목을 맡아 교편을 잡고 있다. IEEE 정회원, IEIE 평생회원이다. 저서로는 『NAND Flash 메모리』(홍릉과학출판사, 2015)가 있다.