반도체 전공정장비. 1
복두출판사
2014년 12월 24일 출간
국내도서 : 2014년 01월 25일 출간
(개의 리뷰)
(
0%
의 구매자)
- eBook 상품 정보
- 파일 정보 PDF (15.81MB)
- ISBN 9788980009916
- 지원기기 교보eBook App, PC e서재, 리더기, 웹뷰어
-
교보eBook App
듣기(TTS) 불가능
TTS 란?텍스트를 음성으로 읽어주는 기술입니다.
- 전자책의 편집 상태에 따라 본문의 흐름과 다르게 텍스트를 읽을 수 있습니다.
- 이미지 형태로 제작된 전자책 (예 : ZIP 파일)은 TTS 기능을 지원하지 않습니다.
PDF 필기가능 (Android, iOS)
소득공제
소장
정가 : 22,000원
쿠폰적용가 19,800원
10% 할인 | 5%P 적립이 상품은 배송되지 않는 디지털 상품이며,
교보eBook앱이나 웹뷰어에서 바로 이용가능합니다.
카드&결제 혜택
- 5만원 이상 구매 시 추가 2,000P
- 3만원 이상 구매 시, 등급별 2~4% 추가 최대 416P
- 리뷰 작성 시, e교환권 추가 최대 200원
시리즈 전체 2권
반도체 전공정장비. 2
17,000
원
반도체 전공정장비. 1
22,000
원
작품소개
이 상품이 속한 분야
『반도체 전공정장비』 제1권. 반도체 생산공장에서 운영되고 있는 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 유지 점검하고, 고장을 방지하게 위한 사전 예방활동 등을 수행도록 실무 지식을 소개한다. 반도체 공정 장비의 구조 및 기능, 유지보수에 관련된 이론과 기술 등을 배울 수 있다.
Chapter 1 노광공정(Lithography Process) 장비
1. 노광공정 개요
2. 포토공정 및 장비의 전체 구성 및 역할
3. 노광장비 예방 점검 및 규칙
4. 장비 운영
Chapter 2 트랙(Track)공정 장비
1. 트랙 공정 개요
2. 트랙 장비의 전체 구성 및 역할
3. 트랙 장비의 기능 Module별 구성 역할
4. 모듈별 주요 구성품 및 역할
5. 모듈별 고장 진단 및 해결 방법
6. 장비운영
Chapter 3 측정장비
1. 측정 장비의 이해
2. Particle 측정 장비
3. 패턴 검사 측정장비
4. CD SEM(주사전사현미경 장비)
(Critical Dimension Scanning Electron Microscopy)
6. 오버레이(Overlay)장비
Chapter 4 식각공정(Etching) 장비
1. 식각장비 개요
2. 식각 장비의 기본 구조
3. 식각장치 TE8500의 개요
4. TE8500 장비 운영
Chapter 5 에싱공정(Ashing) 장비
1. 에싱(Ashing) 공정 개요
2. 장비의 전체 구성 및 역할
3. 모듈별 고장 진단 및 해결방법
4. 고장 검사(Trouble Shooting)
5. 설비 운영(Operation)
1. 노광공정 개요
2. 포토공정 및 장비의 전체 구성 및 역할
3. 노광장비 예방 점검 및 규칙
4. 장비 운영
Chapter 2 트랙(Track)공정 장비
1. 트랙 공정 개요
2. 트랙 장비의 전체 구성 및 역할
3. 트랙 장비의 기능 Module별 구성 역할
4. 모듈별 주요 구성품 및 역할
5. 모듈별 고장 진단 및 해결 방법
6. 장비운영
Chapter 3 측정장비
1. 측정 장비의 이해
2. Particle 측정 장비
3. 패턴 검사 측정장비
4. CD SEM(주사전사현미경 장비)
(Critical Dimension Scanning Electron Microscopy)
6. 오버레이(Overlay)장비
Chapter 4 식각공정(Etching) 장비
1. 식각장비 개요
2. 식각 장비의 기본 구조
3. 식각장치 TE8500의 개요
4. TE8500 장비 운영
Chapter 5 에싱공정(Ashing) 장비
1. 에싱(Ashing) 공정 개요
2. 장비의 전체 구성 및 역할
3. 모듈별 고장 진단 및 해결방법
4. 고장 검사(Trouble Shooting)
5. 설비 운영(Operation)
인물정보
이 상품의 총서
Klover리뷰 (0)
Klover리뷰 안내
Klover(Kyobo-lover)는 교보를 애용해 주시는 고객님들이 남겨주신 평점과 감상을 바탕으로, 다양한 정보를 전달하는 교보문고의 리뷰 서비스입니다.
1. 리워드 안내
구매 후 90일 이내에 평점 작성 시 e교환권 100원을 적립해 드립니다.
- - e교환권은 적립일로부터 180일 동안 사용 가능합니다.
- - 리워드는 5,000원 이상 eBook, 오디오북, 동영상에 한해 다운로드 완료 후 리뷰 작성 시 익일 제공됩니다. (2024년 9월 30일부터 적용)
- - 리워드는 한 상품에 최초 1회만 제공됩니다.
- - sam 이용권 구매 상품 / 선물받은 eBook은 리워드 대상에서 제외됩니다.
2. 운영 원칙 안내
Klover리뷰를 통한 리뷰를 작성해 주셔서 감사합니다. 자유로운 의사 표현의 공간인 만큼 타인에 대한 배려를 부탁합니다. 일부 타인의 권리를 침해하거나 불편을 끼치는 것을 방지하기 위해 아래에 해당하는 Klover 리뷰는 별도의 통보 없이 삭제될 수 있습니다.
- 도서나 타인에 대해 근거 없이 비방을 하거나 타인의 명예를 훼손할 수 있는 리뷰
- 도서와 무관한 내용의 리뷰
- 인신공격이나 욕설, 비속어, 혐오 발언이 개재된 리뷰
- 의성어나 의태어 등 내용의 의미가 없는 리뷰
구매 후 리뷰 작성 시, e교환권 100원 적립
문장수집
문장수집 안내
문장수집은 고객님들이 직접 선정한 책의 좋은 문장을 보여 주는 교보문고의 새로운 서비스 입니다. 교보eBook 앱에서 도서 열람 후 문장 하이라이트 하시면 직접 타이핑 하실 필요 없이 보다 편하게 남길 수 있습니다. 마음을 두드린 문장들을 기록하고 좋은 글귀들은 ‘좋아요’ 하여 모아보세요. 도서 문장과 무관한 내용 등록 시 별도 통보없이 삭제될 수 있습니다.
리워드 안내
- 구매 후 90일 이내에 문장 수집 등록 시 e교환권 100원을 적립해 드립니다.
- e교환권은 적립일로부터 180일 동안 사용 가능합니다.
- 리워드는 5,000원 이상 eBook에 한해 다운로드 완료 후 문장수집 등록 시 제공됩니다. (2024년 9월 30일부터 적용)
- 리워드는 한 상품에 최초 1회만 제공됩니다.
- sam 이용권 구매 상품 / 선물받은 eBook / 오디오북·동영상 상품/주문취소/환불 시 리워드 대상에서 제외됩니다.
구매 후 문장수집 작성 시, e교환권 100원 적립
교보eBook 첫 방문을 환영 합니다!
신규가입 혜택 지급이 완료 되었습니다.
바로 사용 가능한 교보e캐시 1,000원 (유효기간 7일)
지금 바로 교보eBook의 다양한 콘텐츠를 이용해 보세요!
