2012년 신성장동력 장비산업 동향과 기술개발 전략
2012년 05월 18일 출간
종이책 : 2012년 03월 30일 출간
- eBook 상품 정보
- 파일 정보 ePUB (30.29MB)
- ISBN 9788966672806
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작품소개
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1. 7대 신성장동력 장비산업 정책동향
1-1. 7대 신성장동력 장비산업 개요
1-2. 신성정동력 7대 장비산업 지원과제 선정
1-3. 2011년 신성장동력 장비경쟁력 강화 세부 과제 현황
1-4. 7대 신성장동력 장비산업 로드맵과 전략 품목선정
2. 반도체 개요와 산업동향
2-1. 반도체 개념 및 특성
2-2. 반도체산업 현황 및 전망
2-3. 2011년도 주요 반도체 기술개발 현황
3-1. 바이오산업의 개요
3-2. 국내 바이오산업 현황
제 2장 7대 반도체, 바이오산업 장비관련 핵심기술 개발전략
1. EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사 기술 개발
1-1. 개요
1-2. 연구목표 및 내용
1-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
2-1. 개요
2-2. 연구목표 및 내용
2-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
3. 차세대 메모리용 3D 적층 신소자 및 핵심 소재 공정 기술 개발
3-1. 개요
3-2. 연구목표 및 내용
3-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
4. 초미세 고신뢰성 배선기술 개발
4-1. 개요
4-2. 연구목표 및 내용
4-3. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
5. 메디바이오 진단기기 동향
5-1. 개요
5-2. 연구목표 및 내용
5-3. 연구기간 및 연구비
5-4. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
6. 체외 진단시스템 기술개발
6-1. 개요
6-2. 연구목표 및 내용
6-3. 연구기간 및 연구비
6-4. 연구개발결과의 활용방안 및 기대효과
제 3장 7대 반도체, 바이오장비 관련 기술개발 과제 및 업체현황
1. 반도체장비 관련 기술개발 과제
1-1. 반도체 Photo 공정용 초정밀 Scan Chuck 개발
1-2. FCB Singulator (Half to PCS) 국산화 개발
1-3. 탄탈 고분자 pellet welding machine 국산화 개발
1-4. 고해상도 AFVI 개발
1-5. MLCC Belt-B 생산성 증대 기술개발
1-6. MLCC 소성용 Roller Hearth Kiln 국산화 개발
1-7. fcCSP 전기검사기 국산화 개발
1-8. 솔더 볼 공급장치에 대한 기술개발
1-9. 미세 연마용 압전소자 Head Unit 기술개발
1-10. 가스 조절 용이한 초고온용 홀효과 측정장비 기술개발
1-11. 초정밀 Single Beam BGA Socket 개발
1-12. 병렬테스트를 위한 다 채널 반도체 주 검사 장비 개발
1-13. 전기분해 응용기술을 이용한 차세대 번인보드 세정 및 검사장치 개발
1-14. MEMS probe card용 건식 세정 기술 및 시스템개발
1-15. Single Cleaner IPA Dryer 개발
1-16. 고효율 실리콘 태양전지용 나노박막공정 및 양산성 ALD 장비 개발
1-17. 고효율 실리콘 태양전지용 Boron(BBr3) Doping Furnace 장비 및 공정 개발
1-18. 1005 초소형 적층 세라믹 콘덴서 외부전극 도포 시스템 개발
1-19. 지그비를 이용한 모바일 트위터개발
1-20. PCB 인쇄(SR:Solder Resist)공정 표면 처리 설비 개발
1-21. 양면패키지 검사 장비 개발
1-22. 20nm급 및 450mm 반도체 공정용 차세대 PECVD ACL 장비 개발
1-23. 반도체용 패키지 박판기판용 비접촉 건조시스템 개발
1-24. 차세대 모듈형 프로브 카드 개발
1-25. 30nm급 Gap Fill용 Flowable Oxide 증착 장비 개발
1-26. 나노 반도체장비 원천기술 상용화 총괄관리 기술개발
1-27. 450mm 장비 플라즈마 공정 해석용 고신뢰성 시뮬레이터 개발
1-28. 저손상 나노소자 공정을 위한 450mm 장비 플라즈마 원천기술 개발
1-29. 450mm 장비용 정전척 제작을 위한 요소 기술 개발
1-30. Boron Doped Si용 LP-CVD 증착 장비 개발
1-31. 300mm 급 플라즈마 도핑장비 개발
1-32. 25nm급 Oxide Trench Etcher 개발
1-33. 25nm급 Poly Etcher 개발
1-34. FCB Bump 110㎛ Pitch 이하 3D AFVI 국산화 개발
1-35. SOP/SOT/Dpak 검사용 High Speed Test Handler 개발
1-36. Stick Free 3000V ESC Power Supply 기술개발
1-37. 웨이퍼 레벨 다품종 가변양산라인 플라즈마 시스템 기술개발
1-38. 반도체 CMP공정 생산성 향상 장치 개발
1-39. 다중연결형 카메라를 이용한 SMT 비전 검사기 기술개발
1-40. Auto Splice System 기술개발
1-41. D램 MEMS Probe Card 용 Wire PCB 개발
1-42. 광전반도체용 POCl3 공정 Furnace 장비 개발
1-43. 차세대 Memory 저장 장치 SSD(Solid State Disk)의 고속 자동화 검사장치 기술개발
1-44. 반도체제조장치 Wet 공정용 용액의 화학조성 모니터링장치개발
1-45. 7세대 이상 대형 In-line Type Sputter Target Cooling Unit 개발
2. 바이오장비 관련 기술개발 과제
2-1. 표준형/맞춤형 스캐폴드 제작기술 개발
2-2. 친환경 연속식 광펄스 살균 시스템 개발
2-3. 건조지문을 해결한 특수 코팅 광학부 탑재 세계 초소형 지문 인식기
2-4. 지능형 자동세포배양 시스템 개발
2-5. 전처리공정을 단순화한 휴대용 농약검출기 개발
2-6. 미량 바이
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