진공공학

배석희 외 지음

한국경제신문사 2007년 12월 22일 출간 종이책 : 2000년 06월 30일 출간

작품소개

책소개

21세기 첨단과학기술을 혁신할 핵심기술인 진공과학의 기초와 응용법을 해설한 전공서.

목차

001. <과학기술신서> 발간에 부쳐...3
002. 머리말...5
003. [진공 기초]
004. 진공의 역사와 응용...15
005. 기체분자 운동법칙...27
006. 기체의 흐름...61
007. 기체와 고체...116
008. [진공펌프]
009. 진공펌프의 기능과 종류...153
010. 유회전 진공펌프...159
011. 건식 진공펌프...169
012. 분자펌프...189
013. 증기펌프...210
014. 게터펌프...219
015. 게터 이온펌프...247
016. 저온펌프...262
017. [진공 측정]
018. 진공계의 분류...283
019. 전압 측정...284
020. 분압 측정...322
021. 극고진공 진공도 측정...342
022. [진공 재료]
023. 진공용기의 재료와 표면처리...347
024. 스테인리스 강...350
025. 알루미늄 합금...368
026. 세정...389
027. 용접 및 접합기술...410
028. [진공부품]
029. 플랜지와 기밀구조...457
030. 밸브...477
031. 도입기...482
032. 창...487
033. 벨로즈...491
034. 배플과 트랩...498
035. [진공 누설검사]
036. 기체누설의 원인과 특성...502
037. 기체 누설검사...505
038. [진공 표준]
039. 표준이란...525
040. 진공 표준기...528
041. 시험검사와 교정...555
042. [진공 시스템 해석]
043. 도관 내의 압력 분포...570
044. 진공 네트워크 압력분포 계산...601
045. 진공배기 계산...612
046. 통과 콘덕턴스...626
047. [진공 시스템]
048. 진공 시스템 설계 및 구성...637
049. 진공 시스템 응용...655
050. [표면분석 기술]
051. 서론...701
052. 전자분광분석의 일반적 특징...705
053. 오제이전자 분광분석...709
054. 광전자 분광분석...716
055. 깊이분포분석...720
056. 방사광 이용 표면분석...724
057. 저에너지 전자회절 분석...738
058. 주사형 탐침 현미경...744
059. 2차이온 질량분석...748
060. 찾아보기...757

작가정보

저자(글) 배석희 외